勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們?cè)矶际且粯拥模仍诟咚傩D(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地:韓國MIDAS公司,
型號(hào):SPIN-1200D
廠家鏈接:.cn/
勻膠機(jī)通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底尺寸:4”、6”、8”、12”、550mm;
按客戶需求提供整體解決方案,可以旋涂最小3mm, 1000mm襯底;
從手動(dòng)到全自動(dòng)溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大;
無振動(dòng)轉(zhuǎn)速8000rpm;
真空吸附,無污染;
臺(tái)式勻膠機(jī),占用空間?。?br> 具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩,并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗;
聚四氟乙烯(PTFE)的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料;
便于程序操作的全尺寸鍵盤,甚至帶著手套都可以方便使用;
可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng);
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序。
應(yīng)用范圍:
可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機(jī)物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液;
全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備:
親愛的讀者,親愛的用戶: 謝謝您瀏覽我們的網(wǎng)站!您的要求,您的技術(shù)和科研困難和問題,您的意見和建議,以及您的各種評(píng)論都是我們的機(jī)會(huì)。希望您能積極與我們交流,讓我們能為您提供服務(wù)和幫助,為您提供實(shí)用的解決方案。祝你們多出成果,出好成果! 科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供的儀器、設(shè)備,最周到的技術(shù)、服務(wù)和的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。 科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)! 因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。
勻膠機(jī) 產(chǎn)品信息