JSM-IT500 掃描電子顯微鏡

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機(jī)型。 從設(shè)定視野到生成報(bào)告，用于分析的軟件整合于一體，加快了作業(yè)速度！是一款無(wú)縫操作，使用更加方便的掃描電子顯微鏡。

主要技術(shù)指標(biāo)

圖像倍率：

。3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)

。4.0 nm (30 kV BED)

。×5～×300,000
（以128 mm × 96 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）

顯示倍率：

。×14～×839,724
顯示器上的圖像倍率（以358 mm × 269 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）

電子槍：鎢燈絲 電子槍自動(dòng)合軸

加速電壓：0.3kV～30kV

低真空壓力設(shè)定：

。范圍※1 ：分辨率 高真空模式

。物鏡光闌：低真空模式^*1

^。自動(dòng)功能：燈絲調(diào)整、電子槍合軸調(diào)整，聚焦、像散、襯度/亮度調(diào)整

。樣品尺寸：

（1）200 mm直徑×75 mm高度

（2）200 mm直徑×80 mm高度※選配件

（3）32 mm直徑×90 mm高度 ※選配件

。樣品臺(tái)：大型全對(duì)中式

X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm

傾斜：－10～90°　旋轉(zhuǎn)：360°

。圖像無(wú)縫拼接功能：標(biāo)配

。顯示測(cè)試位置座標(biāo)：直徑203 mm

。標(biāo)準(zhǔn)菜譜：有（包括EDS條件 ※2）

。圖像模式：二次電子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、陰影像^*1等

。獲取圖像的像素?cái)?shù)：640x480 1,280x960 2,560x1920 5,120x3,840

。OS：Microsoft®Windows®10 64bit

。顯示器：23寸觸摸屏

。EDS 功能^*2：譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析（水平線分析、任意方向線分析）元素面分布、電子束追蹤等

。測(cè)長(zhǎng)功能：有（兩點(diǎn)間距離、平行線間距離、角度、直徑等）

。數(shù)據(jù)管理功能：SMILE VIEW™ Lab

。生成報(bào)告功能：SMILE VIEW™ Lab

。語(yǔ)言切換：可以在UI 上（日語(yǔ)/ 英語(yǔ)）

。抽真空系統(tǒng)：自動(dòng)　TMP：1 臺(tái)、RP：1臺(tái)或2臺(tái)^※1

備注：Windows10 為美國(guó)微軟公司在美國(guó)及其它國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)或商標(biāo)

主要選配件

背散射電子檢測(cè)器（BED) ※1

低真空二次電子檢測(cè)器（LSED)能譜儀(EDS)※2

波譜儀（WDS）

電子背散射衍射檢測(cè)器(EBSD)

加載互鎖真空室（預(yù)抽室）

樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）

樣品室觀察系統(tǒng)(CS)

操作面板

3D測(cè)量軟件操作臺(tái)

※1 為JSM-IT500LV/LA的標(biāo)配功能。
※2 為JSM-IT500LV/LA的標(biāo)配功能。