Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述
型號：Zeta-380/Zeta-380I
產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)
品牌：Zeta澤塔
簡介：zeta-380i系統(tǒng)是一個自動化的檢測和計(jì)量包裝，檢查HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化
Zeta-380/Zeta-380I晶圓檢測和計(jì)量HBLED
的zeta-380i系統(tǒng)是一個自動化的檢測和計(jì)量包裝檢驗(yàn)HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化快掃描缺陷全英寸晶圓為小1μ米直徑在2.5分鐘。使用缺陷的地圖審查與高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀的缺陷，小于30秒每缺
Zeta-380/Zeta-380I簡單的操作
簡單的配方和缺陷檢查結(jié)合自動缺陷審查使用缺陷地圖文件
完成的zeta-380i包可以配置所有的軟件和硬件需要全面的缺陷檢測和分析–以及Zeta的證明光學(xué)技術(shù)測量和報(bào)告系統(tǒng)的尺寸檢測- >檢討- >措施>分類
縮短過程反饋的前置時(shí)間，節(jié)省了寶貴的時(shí)間。的zeta-380i配備自動缺陷審查功能節(jié)省了時(shí)間和簡化了缺陷分析
從zeta-380i 3D圖像分析為大多數(shù)缺陷的答案。這減少了需要審查的耗時(shí)和昂貴的原子力顯微鏡或掃描電鏡分析的缺陷的數(shù)量。
Zeta-380/Zeta-380I系統(tǒng)的特點(diǎn)
相機(jī)選項(xiàng)：640x480，1024x768 1280x960
放大倍數(shù)：35000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字
照明：三（3）超亮白光LED
機(jī)動化階段：150mm×150mm XY旅游
Z軸行程：40mm
Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格
Zeta-380/Zeta-380I缺陷檢測
尺寸（mm）
系統(tǒng)（寬）：1000 x 860 x 840
計(jì)算機(jī)：381×457×102
監(jiān)視器：596×449×240
總重量：145磅/ 65公斤
Zeta-380/Zeta-380I操作規(guī)范
電壓：100 - 230伏
電流：4A
操作溫度：18-30°C，非—
凝結(jié)，每小時(shí)1°C
1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺階高度標(biāo)準(zhǔn)，100X / 0.9n
目的，壓階段，與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式
Zeta-380/Zeta-380I性能配置
缺陷：150秒為一個完整的4英寸圓片
~ PSS計(jì)量：30秒/網(wǎng)站
三維缺陷審查：~ 30秒/站點(diǎn)的典型（zdot）
~ 10秒/網(wǎng)站zsi
像素分辨率：0.09μm 0.5X耦合器和100
民z-step：2 nm可壓階段
13納米與標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動器
z軸分辨率：1?zsi選項(xiàng)
13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot
repeatability3：7海里（1σ
