技術(shù)參數(shù):
·光譜范圍:190-2100 nm
·8種光斑尺寸: 小35 X 85 um
·探測器:3個(gè)獨(dú)立探測器,分別優(yōu)化紫外,可見和近紅外
·自動樣品臺尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動調(diào)整
·自動量角器:變角范圍35°- 90°,全自動調(diào)整,小步長0.01°
主要特點(diǎn):
·自動化設(shè)計(jì),自動對焦、校正
·全新光路、電路設(shè)計(jì),測量精度更高,速度更快
·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運(yùn)動部件
·雙光柵光譜儀系統(tǒng),雜散光抑制水平高
·8個(gè)尺寸微光斑,可視技術(shù)
·自動平臺樣品掃描成像