★ 家在共聚焦顯微鏡上采用3個(gè)線型CCD方式, 業(yè)內(nèi)的1200萬畫素(400萬畫素×RGB)的高畫質(zhì)、顏色再現(xiàn)性的圖像;
★ 業(yè)界的掃描速度,120幀/sec的高速掃描;
★ 可以進(jìn)行分別基于R、G、B的圖像信號(hào)的表面形狀測定以及形狀解析,進(jìn)一步也可以獲得深焦點(diǎn)圖像(焦點(diǎn)移動(dòng)記憶方式);
★ 本裝置在進(jìn)行表面形狀測定時(shí),能夠作到非接觸、非破壞測定,測定精度高、處理速度快,(或在高生產(chǎn)率的條件下)可以實(shí)現(xiàn)高效的測定。
★ 分辨率可達(dá)0.15um;