如在機床出廠前的調(diào)試使用，激光干涉儀可以精確的進行誤差測量和補償；數(shù)控機床加工零件超差，激光干涉儀會對精度進行恢復校準，同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高；數(shù)控機床大修后，對更換軸承、導軌、絲杠、進給電機等的校準......
中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗擾力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。
測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。
技術參數(shù)
產(chǎn)品型號：SJ6000產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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注意事項
1. 在安裝SJ6000自制激光干涉儀的鏡組時要確保牢固；2. 現(xiàn)場溫度變化不能很大，現(xiàn)場的溫度及環(huán)境因素對測量結(jié)果影響很大；
3. 要使用正確的補償方式，螺距補償和反向間隙需正確補償，需根據(jù)不同的系統(tǒng)進行不同的補償方式；
4. 補償后精度相差不大，可再進行累加補償測量；
5. 測量時數(shù)值起跳很大，檢測防護罩是否順暢，機床磨合時間是否充足（建議磨合36小時），機床是否處于熱機狀態(tài)（建議停機冷卻45分鐘以上）；
6. 如以上均達不到精度要求，很大概率是機床裝配問題，建議重新進行機械裝配調(diào)試處理。
