威思曼高壓電源的HEM系列高壓電源是一種集成式多輸出高壓電源,數(shù)字化控制。典型的應(yīng)用包括透射和掃描電子顯微鏡;半導(dǎo)體分析,銑削和修復(fù)光盤驅(qū)動器頭,離子;束刻蝕和聚焦離子束光刻。
該電源采用模塊化設(shè)計(jì)方法,允許個別組件可以很容易地配置在一個共同的機(jī)架大底盤安裝裝配。接口,邏輯和控制電路是采用表面貼裝技術(shù),盡量減少成本和尺寸。集成加速電源、燈絲電源,吸取極電源,抑制極電源和鏡頭電源。低輸出紋波,優(yōu)秀的調(diào)整率、穩(wěn)定性、溫漂、精度。高電壓懸浮、數(shù)字化控制技術(shù)。HEM系列高精度模塊價格有競爭力,是OEM應(yīng)用的理想選擇。
客戶可通過網(wǎng)口、RS-232接口控制這個集成式電源。
典型應(yīng)用:
掃描電子顯微鏡SEM
場發(fā)射電子顯微鏡FEM
半導(dǎo)體分析,加工和修理
離子束刻蝕
聚焦離子束光刻
產(chǎn)品特點(diǎn):
1. DC/DC 多路輸出高壓電源系統(tǒng),小體積。
2. 低輸出紋波:2ppm
3. 高精度、高穩(wěn)定性、低紋波
4. 掃描電子顯微鏡、電子束、離子束電源系統(tǒng)。
5. 集成式單機(jī)箱解決方案。
6. 無電暈專用特別方案。
7. 過壓、過流、短路、拉弧保護(hù)。
8. 可根據(jù)用戶要求定制。
技術(shù)參數(shù):
輸入:DC24V, 47到63Hz
加速極電源
輸出電壓:
0到-35KV
輸出電流:
450μA
紋波:
70 mV P-P,從0.1 Hz到1MHZ
線路調(diào)整率:
輸入變化+ / -10%為100mV
負(fù)載調(diào)整率:
± 0.01%,電壓,滿負(fù)荷變化
穩(wěn)定度:
預(yù)熱2小時候后,1.5V/10小時
溫度系數(shù):
25 PPM / °C
燈絲電源
輸出電壓:
0至5 VDC
輸出電流:
0到5 A
紋波:
10mA P-P,從0.1 Hz到1MHZ
線路調(diào)整率:
+ / -10%變化為5mA
負(fù)載調(diào)整率:
± 0.1%,電壓,滿負(fù)荷變化
穩(wěn)定性:
預(yù)熱2小時后5mA/10分鐘
溫度系數(shù):
200 PPM / °C
抑制極電源
輸出電壓:
-10v 到- 2kv
輸出電流:
300uA
紋波:
20 mV P-P,從0.1 Hz到1MHZ
線路調(diào)整率:
輸入+ / -10%變化為100mV
負(fù)載調(diào)整率:
± 0.01%,電壓,滿負(fù)荷變化
穩(wěn)定性:
預(yù)熱2小時后,500mV/10小時
溫度系數(shù):
25 PPM / °C
吸取極電源
輸出電壓:
0到-15KV
輸出電流:
400μA
紋波:
30 mV P-P,從0.1 Hz到1 MHZ,30μA以下
線路調(diào)整率:
輸入+ / -10%的變化為100mV
負(fù)載調(diào)整率:
± 0.01%,電壓,滿負(fù)荷變化
穩(wěn)定性:
預(yù)熱2小時后,500mV/10小時
溫度系數(shù):
25 PPM / °C