等離子廢氣凈化器的工藝流程：

氣體收集系統(tǒng)—預處理噴淋洗滌系統(tǒng)—低溫等離子凈化系統(tǒng)—氣體吸附催化系統(tǒng)—排放系統(tǒng)—控制系統(tǒng)氣體收集系統(tǒng)主要是將構(gòu)筑物自由揮發(fā)的氣體收集起來并輸送到后續(xù)處理系統(tǒng)。具體包括氣罩系統(tǒng)、管道輸送系統(tǒng)和風機。

等離子廢氣凈化器的工作原理：

廢氣處理中洗滌系統(tǒng)用來和廢氣在洗滌塔內(nèi)進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統(tǒng)等。

等離子廢氣凈化器內(nèi)部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質(zhì)，廢氣收集系統(tǒng)收集的多元素氣體經(jīng)過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態(tài)氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內(nèi)，氣體內(nèi)的氣體被電場內(nèi)所產(chǎn)生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉，達到廢氣處理的目的。

等離子廢氣凈化器的工作區(qū)組成介紹：

1、微波激發(fā)區(qū)

本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預激發(fā)能。由于微波的預激功能，的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。

2、低溫等離子體激發(fā)

本工藝有40支至240支充有氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，諸多機構(gòu)室稱在常壓下實現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，在無極管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能較少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是較好的一種能。在實踐應用中，關(guān)鍵在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。

3、極板區(qū)

根據(jù)被處體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區(qū)由于負壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。

根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術(shù)與一體，經(jīng)山東、江蘇、浙江三地多家醫(yī)藥、化工企業(yè)的實地測試，原廢氣的去除率非常理想。