激光干涉儀是激光的應用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。SJ6000激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
二.SJ6000激光干涉儀功能特點
1. 測量精度高:以激光干涉技術(shù)為核心,分辨率可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3. 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。
4. 具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性分析等。
5. 內(nèi)置各種類國標(GB)、ISO(國際)、BS(英制)、美標、DIN(德標)、JIS(日標)等機床檢驗標準??梢罁?jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù),并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
6. 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。
7. 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理,可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔。
8. 安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。
三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)