一、簡(jiǎn)介
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用傳統(tǒng)的空間光傳輸，分辨率可達(dá)0.077nm，它具有*的測(cè)量性能以及實(shí)時(shí)閉環(huán)反饋功能，主要應(yīng)用于亞納米精密測(cè)量領(lǐng)域。
上海拍頻光電科技有限公司自主開(kāi)發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，主要特點(diǎn)如下：
?支持位移、速度、角度測(cè)量
?采用平鏡干涉儀測(cè)量，達(dá)到4倍光學(xué)細(xì)分
?具有高數(shù)據(jù)采樣率，支持位移和速度的實(shí)時(shí)閉環(huán)反饋
?采用雙頻干涉技術(shù)，抗力強(qiáng)，易進(jìn)行多軸擴(kuò)展，測(cè)量結(jié)果噪聲低
?單塊數(shù)字信號(hào)處理器支持相互獨(dú)立的6軸同時(shí)測(cè)量，并支持多處理器級(jí)聯(lián)
二、系統(tǒng)構(gòu)成
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構(gòu)如下圖所示。
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調(diào)底座、導(dǎo)光元件、導(dǎo)光元件可調(diào)底座、光纖耦合器、光纖、信號(hào)處理卡等部件組成。
三、性能參數(shù)
上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀，主要系統(tǒng)參數(shù)如下表：
| 指標(biāo)名稱(chēng) | 參數(shù) |
測(cè)量分辨率（Resolution） | 0.077nm @ 4 optical division |
測(cè)量范圍（Range） | 20m |
采樣速率（Sampling rate） | 10MHz |
通訊接口（Interface） | VME / ABZ / RS485 / 網(wǎng)口 |
備注：可定制VPX通訊接口，可定制更高測(cè)量分辨率。
