手動臺階儀JS10A，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS10A提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品組成

產(chǎn)品特點

1、雙攝像頭設(shè)計，既可清晰尤變形的現(xiàn)蔡樣品，又可實時監(jiān)測探針掃描狀態(tài)。

2、花崗巖龍門架結(jié)構(gòu)，提供高剛性的支撐，保證測量穩(wěn)定性。

3、光柵尺閉環(huán)反饋樣品臺，重復(fù)定位精度優(yōu)于5um 。

4、高精度微力傳感器與微動掃描器，提供高的測量精度和重復(fù)性。

5、采用金剛石探頭，提供不同規(guī)格。

國產(chǎn)臺階儀

半自動國產(chǎn)臺階儀JS100A 系列，創(chuàng)，打破了國外壟斷的局面，是半導(dǎo)體國產(chǎn)化進程中

的一環(huán)。

1 、納米級測試精度，標準偏差 3nm 以內(nèi)。

2 、可測樣品臺階厚度范圍 0一 6mm ；超出可定制。

3 、儀器結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計．安裝維護簡易快捷。

4 、操作流程直觀，軟件緊密貼合國內(nèi)客戶需求，上手更快。

5 、國內(nèi)研發(fā)，售后 24 小時響應(yīng)。

突破三大核心技術(shù)

1、大行程超平面掃描技術(shù)

（行程 50mm ，平坦度優(yōu)于 20nm )

2、大帶寬大行程納米微動臺技術(shù)

（行程 100um ，分辨率 0 . Inm ，帶寬 10KHz )

3、大行程壓電陶瓷驅(qū)動快速進針技術(shù)

（行程 20mm ，單步步進小于 1 00nm )

配套軟件介紹

應(yīng)用案例

以上就是為您介紹的國產(chǎn)手動臺階儀產(chǎn)品，想要了解臺階儀更多內(nèi)容請咨詢

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