太陽能電池制造中的質(zhì)量控制解決方案 光伏測量儀SENperc PV
多晶硅和C-Si基太陽能電池的質(zhì)量控制解決方案:
SENperc PV是為PERC太陽能電池制造質(zhì)量控制而設(shè)計的。它測量SiO2、Al2O3和SiNX單層膜和疊層膜,這些單層膜和疊層膜用于PERC電池(多晶硅襯底和c-Si襯底)的正面反射和背面鈍化。對沉積過程的穩(wěn)定性進行長時間的監(jiān)測。由此,優(yōu)化了維護時間間隔。
SiO2、Al2O3和SiNx沉積的長期穩(wěn)定性監(jiān)測:
統(tǒng)計制程控制(SPC)被應(yīng)用于PERC太陽能電池的評估。預(yù)置范圍應(yīng)用于良率分析。向操作人員提供直接和長期的反饋,以便立即進行干預(yù)。SQL數(shù)據(jù)庫在本地以及通過LAN可訪問,以支持電池跟蹤和良率分析。除了按鈕操作之外,SENpercPV還配備了強大的軟件接口,用于新配方的研發(fā)。
Al2O3和SiNx薄膜的厚度和折射率指數(shù)測量:
SENperc PV 配備了基于配方的用于質(zhì)量控制按鈕操作。在樣品臺上放置一個PERC電池,涂有涂層的背面朝下以控制鈍化層。晶體硅太陽能電池插入到一個特殊的晶片架來分析防反射涂層。不需要對準。雜散光不影響測量。測量到的厚度和折射率指數(shù)被保存到SQL數(shù)據(jù)庫中。