KW-4BC型智能程控勻膠機(中端型)勻膠機(旋涂儀)
英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
KW系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
1 .配方帶掉電保護功能 2.加速度可調 3.帶防飛片保護與報警 4.帶防進膠保護與報警 5.帶自動取片提示功能 | |
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精度 | 指標 |
基片尺寸 | 5-120mm |
速度范圍 | 50-10000RPM |
轉速精度 | 1RPM |
轉速穩(wěn)定度 | ±0.1% |
加速度范圍 | 1-10000RPM/S |
膠均勻性 | ±1% |
控制信號 | 指標 |
人機界面 | 4.3寸觸摸屏 |
通信接口 | 無 |
觸控筆 | BAMBOO電阻筆(標配) |
真空泵 | AP-550V無油泵 |
編程模式 | 參數 |
設置數據 | 無限組數據,每組10段轉速(標配) |
每段時間 | 0-10000秒 |
存儲數據 | 無限組數據 |
數據保護 | 默認帶掉電保護功能 |
電氣參數 | 指標 |
勻膠機交流供電口 | AC100-250V |
真空泵交流供電口 | AC220V(標配) AC110V(選配) |
勻膠機功率 | 200W |
真空泵功率 | 350W |
真空泵抽速 | ≥60L/MIN |
機械尺寸 | 參數 |
勻膠機體積 | 215mm(W)X260mm(D)X160mm(H) |
勻膠機重量 | 10KG |
泵重量 | 9KG |
使用環(huán)境 | 參數 |
環(huán)境溫度 | 0-40℃ |
相對濕度 | < 85% |
技術支持 | 指標 |
質保期 | 1年 |