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環(huán)保APP正式上線

GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 20:41:12
  • 訪問(wèn)次數(shù)120
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開(kāi)始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要?! ∩蜿?yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國(guó)客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家,并大量出口于美國(guó)。  沈陽(yáng)科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場(chǎng),主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來(lái),已與全國(guó)眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國(guó)科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國(guó)航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長(zhǎng)期合作的榮譽(yù)客戶?! ∩蜿?yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門(mén)設(shè)立了開(kāi)放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開(kāi)設(shè)以來(lái),制作的樣品達(dá)上千件,接待來(lái)訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪。在此,沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái),并希望您能提出寶貴的意見(jiàn)與建議。此外,沈陽(yáng)科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷(xiāo)售咨詢、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁┎少?gòu)建議與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽(yáng)科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)?! ∩蜿?yáng)科晶一路走過(guò)的歷程,是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來(lái),沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為國(guó)際市場(chǎng)上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積
GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽(yáng)電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25±15,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注/氬氣(純度99.99%以上),需自備實(shí)驗(yàn)所需氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、場(chǎng)地設(shè)備尺寸2200×2000mm×1500mm,承重1000kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1所需成膜溫度低

2、沉積速率快,應(yīng)用廣泛

3、體積小,操作簡(jiǎn)便

4、采用射頻為增強(qiáng)源易于控制

5、清理安裝便捷。

6、一體化觸摸屏控制

技術(shù)參數(shù)

1、系統(tǒng)采用單室式結(jié)構(gòu),手動(dòng)前開(kāi)門(mén);
2真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學(xué)拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空有效尺寸為Φ300mm×300mm;
3、極限真空度:≤6.67x10-4Pa (經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級(jí)采用4L/S);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣到5.0x10-3 Pa,40分鐘可達(dá)到; 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤5 Pa;
4、采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進(jìn)氣;
5、樣品加熱加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用控溫表進(jìn)行控溫;
6噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(diào)(可根據(jù)工藝調(diào)整),并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示;
7、 沉積工作真空:0.133-133Pa(可根據(jù)工藝調(diào)整);
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,功率500W,全自動(dòng)匹配;
9、.氣體種類(用戶提供),使用質(zhì)量流量控制器控制進(jìn)氣。

10、系統(tǒng)設(shè)有尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。

產(chǎn)品規(guī)格

整機(jī)尺寸:1200x1500x1500mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

電源控制系統(tǒng)

1

2

真空機(jī)組

1

3

真空測(cè)量

1

產(chǎn)品對(duì)比
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