沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備是采用沸石吸附物對(duì)有機(jī)氣體進(jìn)行吸附的一種凈化設(shè)備，是利用吸附-濃縮-脫附三項(xiàng)連續(xù)變溫的吸、脫附程序，使低濃度、大風(fēng)量有機(jī)廢氣濃縮為濃度好、小風(fēng)量的濃縮氣體。沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備設(shè)備特性適合處理大風(fēng)量、低濃度、含多種有機(jī)成分的廢氣。VOCs廢氣通過(guò)疏水性沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后，能被吸附于沸石中，達(dá)到凈化廢氣的目的。經(jīng)過(guò)沸石吸附后的廢氣，去掉廢氣中揮發(fā)性的有機(jī)物，凈化后的廢氣直接通過(guò)煙囪排放到大氣中，轉(zhuǎn)輪持續(xù)以每小時(shí)1-6轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn)，同時(shí)將吸附的揮發(fā)性有機(jī)物傳送至脫附區(qū)。于脫附區(qū)中利用一小股加熱氣體將揮發(fā)性有機(jī)物進(jìn)行脫附，吸附了有機(jī)物質(zhì)的轉(zhuǎn)輪在此區(qū)內(nèi)脫附，吸附在轉(zhuǎn)輪上的有機(jī)物被分離、脫附，脫附后的沸石轉(zhuǎn)輪通過(guò)冷卻區(qū)再次旋轉(zhuǎn)至吸附區(qū)，持續(xù)吸附揮發(fā)性有機(jī)氣體。脫附過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣送至焚化爐進(jìn)行燃燒轉(zhuǎn)化成二氧化碳及水蒸氣排放至大氣中。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備采用吸附-脫附-濃縮焚化三項(xiàng)連續(xù)程序。

沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備處理單元如下：

一、沸石轉(zhuǎn)輪的機(jī)體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經(jīng)燒結(jié)所做成，其中陶瓷纖維因具備高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不可燃及的特性而較受普遍使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。轉(zhuǎn)輪厚度一般為25cm-45cm。

二、沸石轉(zhuǎn)輪之基質(zhì)為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉(zhuǎn)輪，再分為兩個(gè)區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及循環(huán)脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附能力，有時(shí)會(huì)設(shè)計(jì)于兩區(qū)之間多一個(gè)冷卻區(qū)，通常吸附區(qū)大，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個(gè)小且面積相等之處理區(qū)域。

三、熱回收設(shè)備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達(dá)500-700℃，將此部分空氣經(jīng)由熱交換器將熱能加以回收，同時(shí)將干凈空氣溫度降低后將其導(dǎo)至轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)為轉(zhuǎn)輪進(jìn)行脫附作用；若溫度太高則轉(zhuǎn)輪可能發(fā)生燃燒，因此進(jìn)入轉(zhuǎn)輪之溫度不可太高，一般會(huì)設(shè)置兩段熱回收設(shè)備并增設(shè)一鼓風(fēng)機(jī)導(dǎo)入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內(nèi)。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)外，并可在制程端如光阻涂布機(jī)臺(tái)或去光阻制程廢氣出入口端加裝冷凝器，預(yù)先分流處理高沸點(diǎn)VOCs（如MEA、BDG、DMSO）。

沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉(zhuǎn)體，轉(zhuǎn)體由沸石吸附介質(zhì)與陶瓷纖維制成。轉(zhuǎn)輪上包含用以分開(kāi)處理廢氣及處理后釋出干凈氣體之密封墊，其材質(zhì)為需能承受VOCS腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料制成(一般為硅)。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合隔離成基本之吸附區(qū)及循環(huán)脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附處理能力，則常見(jiàn)于前二區(qū)間加一隔離冷卻區(qū)。通常吸附區(qū)為大，而脫附區(qū)及冷卻區(qū)則為兩個(gè)小且面積相等之處理側(cè)。有時(shí)為特別需求亦可分成愈多串聯(lián)區(qū)；而吸附轉(zhuǎn)輪由一組電動(dòng)驅(qū)動(dòng)設(shè)備用以旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)輪，故轉(zhuǎn)輪處理時(shí)為可變速、且可控制每小時(shí)旋轉(zhuǎn)2至6轉(zhuǎn)之能力。