一、產(chǎn)品原理介紹:
(1)半導(dǎo)體清洗 光刻膠清洗機(jī)KT-S2DQX-C型等離子清洗機(jī)屬于13.56MHz的射頻電源清洗。作為一種精密干法清洗設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
(2)該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,有效容積為500ml,結(jié)構(gòu)為國(guó)際上的通用的真空石英法蘭密封結(jié)構(gòu)。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。
(3)真空倉(cāng)門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn)樣品清洗和教學(xué)。
二、半導(dǎo)體清洗 光刻膠清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn):
1.全自動(dòng)控制使用方便,更長(zhǎng)的制程執(zhí)行時(shí)間
2.操作簡(jiǎn)易和靈活標(biāo)準(zhǔn)的平臺(tái)安裝
3.快速實(shí)現(xiàn)客戶定制高效率——低發(fā)熱量
4.使用簡(jiǎn)易,節(jié)省成本多功能前面板
5.高質(zhì)量、快速的服務(wù)和支持直觀的液晶顯示操作菜單
6.高純石英腔體減少樣品污染可定時(shí)功能,時(shí)間更精準(zhǔn)
7.射頻屏蔽安全可靠*緊急停止,應(yīng)對(duì)各種突發(fā)情況
三、智能控制滾筒等離子清洗機(jī)KT-G1DQX技術(shù)參數(shù):
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | Φ100mmX200mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 20轉(zhuǎn)/分鐘 |
氣體流量 | 0—300ml/min |
過程控制 | 手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。 |