| 品牌 | 賽奧特（SAT) |
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SAT 520等離子清洗機（Plasma）
應用領域：適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫(yī)學、高分子科學、半導體、微觀流體學等領域.
等離子灰化儀、清洗機主要應用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.沉積實驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
等離子灰化儀、清洗機主要特點：
1.實時檢測和顯示真空度,使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.
真空腔體采用鉸鏈側開門結構,帶有觀察窗,材料為6061材質.
4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式（CCP）激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.
6.觸摸屏+內置計算機顯示控制,手動/自動兩種模式任意切換.
7.程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗.
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學反應，使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團。
9.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術規(guī)格參數(shù)
型號：SAT 520 | 品牌：賽奧特（SAT） |
※不銹鋼腔體 | Φ155 mm×L255mm |
※射頻頻率 | 13.56MHz 頻率偏移量＜0.2KHz |
※射頻功率 | 150W，0到150W可調，精度：1瓦， |
※輝光放電低功率 | 低輝光放電功率：10W |
輝光放電時間設定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設置 | 三氣路（兩路進氣，一路放空） |
工作氣體穩(wěn)定時間 | 氣體穩(wěn)定時間:可調整，可設定，最長時間180秒 |
※進氣控制 | 兩路浮子流量計控制 |
工作氣體 | 空氣/氮氣/氬氣/氮氫混合氣/氬氦混合氣等均可; 也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。 |
進氣壓力 | 空氣常壓，連接鋼瓶：0.2Mpa |
真空泵 | 可選機械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V／50Hz |
整機尺寸（寬*深*高） | 440X500X482mm |
重 量（約） | 25KG |
