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JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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公司名稱北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間2023/7/22 16:30:01
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北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司

培科創(chuàng)新是一家專注于科學(xué)研究及工業(yè)應(yīng)用的儀器渠道商和系統(tǒng)解決方案提供商，我們?yōu)楦咝?、科研院所、企業(yè)等各類客戶提供全面的儀器設(shè)備解決方案。公司成立于2012年，總部設(shè)在北京，在上海、深圳、沈陽等地設(shè)有多個(gè)辦事處。
培科創(chuàng)新，與多家儀器制造商建立了良好的戰(zhàn)略合作關(guān)系，不斷優(yōu)化提升的公司自身營運(yùn)和服務(wù)質(zhì)量，致力于向用戶提供國際的產(chǎn)品、化的解決方案和高品質(zhì)的專業(yè)服務(wù)，承擔(dān)著科技產(chǎn)業(yè)助推器的責(zé)任，服務(wù)并推動科學(xué)研究和科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

培科創(chuàng)新，秉承高度負(fù)責(zé)和誠信的原則展開業(yè)務(wù)，努力營造員工和客戶之間互相尊重、坦誠溝通、高效互動的健康環(huán)境。我們了解客戶的實(shí)際需求，并提供合理優(yōu)質(zhì)的解決方案，并盡力滿足客戶的近期和長期需求。培科在客戶的關(guān)注和員工們的努力中不斷進(jìn)步，擁有遍布全國的營銷渠道和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)、職業(yè)化的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

優(yōu)秀的員工、科學(xué)的管理、高效的營運(yùn)、便捷的信息網(wǎng)絡(luò)、雄厚的資金、多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和*的經(jīng)營理念，是我們服務(wù)于客戶的基礎(chǔ)和保證。

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JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800FPrime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-LensSystem），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升

JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品信息

JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。此外，保證300nA的束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實(shí)的自動功能和易用性，是新一代的多功能場發(fā)射掃描電鏡。

＜特點(diǎn)＞
JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）；電磁場疊加的混合式物鏡。

浸沒式肖特基電子槍
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍為日本電子的技術(shù)，通過對電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）
TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號選擇的系統(tǒng)。利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。
此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來，因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像。

混合式物鏡（電磁場疊加）
JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡。
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡，比傳統(tǒng)的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。

應(yīng)用實(shí)例
◇ 利用混合式物鏡、GB（Gentle Beam 模式）進(jìn)行觀察的實(shí)例
利用低像差的混合式物鏡和GB 模式，即使對不導(dǎo)電樣品也能在極低的加速電壓下進(jìn)行高分辨率成像。
樣品: 介孔二氧化硅（中國上海交通大學(xué)車順愛教授）
◇ 使用高位檢測器（ＵＥＤ）、能量過濾器進(jìn)行觀察的實(shí)例
下圖是利用UED在低加速電壓條件下獲得的背散射電子像。由于是大角度散射電子成像，成份信息非常豐富，但加速電壓為0.8kV比在5kV時(shí)的測試，能獲得更細(xì)微的淺表面信息。象這樣在極低加速電壓下要獲取樣品淺表面的背散射電子成份像，不僅需要高位檢測器，還需要用來去除二次電子的能量過濾器。

樣品：鍍金表面, 能量過濾器： -250 V

技術(shù)參數(shù)

JSM-7200F JSM-7200FLV

分辨率	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)，1.8nm (30kV, LV )
放大倍率	×10～×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960pixels display);
加速電壓	0.01kV～30kV
束流	1pA～300nA
自動光闌角控制透鏡ACL	內(nèi)置
大景深模式	內(nèi)置
檢測器	高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
樣品臺	5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
樣品移動范圍	X：70mm Y：50mm Z：2mm～41mm 傾斜－5～＋70° 旋轉(zhuǎn)360°
低真空范圍	-	10pa～300pa