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環(huán)保APP正式上線

nanoTOF 3 飛行時(shí)間質(zhì)譜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)nanoTOF 3
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/10/10 10:49:18
  • 訪問(wèn)次數(shù)211
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
無(wú)線電綜合測(cè)試儀
nanoTOF 3 是新一代的 TOF-SIMS,擁有新外觀、緊湊設(shè)計(jì),以及更強(qiáng)性能。
nanoTOF 3 飛行時(shí)間質(zhì)譜儀 產(chǎn)品信息

關(guān)鍵技術(shù)

實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的一次離子槍

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器,復(fù)雜形貌樣品的高精度分析

TOF-SIMS 自動(dòng)多樣品測(cè)試

離子束技術(shù)

通過(guò)平行成像 MS/MS 進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)分析

可靠的遠(yuǎn)程訪問(wèn)功能,即使在遠(yuǎn)離設(shè)備的情況下也能進(jìn)行“測(cè)量”和“診斷”

多樣化配置


實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的一次離子槍

的離子束技術(shù),實(shí)現(xiàn)高空間分辨率

PHI nanoTOF3 能提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的 TOF-SIMS 分析:在高質(zhì)量分辨模式下,其空間分辨率優(yōu)于 500 nm;在高空間分辨模式下,其空間分辨模式優(yōu)于 50 nm。通過(guò)結(jié)合高強(qiáng)度離子源、 高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器,可實(shí)現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測(cè)量。





三重離子束聚焦質(zhì)量分析器(TRIFT),復(fù)雜形貌樣品的高精度分析

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器,適用于寬帶通能量、寬立體接受角度、各種形貌樣品分析

主離子束激發(fā)的二次離子會(huì)以不同角度和能量從樣品表面飛出,特別是對(duì)于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品,即使相同的二次離子在分析器中會(huì)存在飛行時(shí)間上的差異,因此導(dǎo)致質(zhì)量分辨率變差,并對(duì)譜峰形狀和背景產(chǎn)生影響。

TRIFT 質(zhì)量分析器可同時(shí)對(duì)二次離子發(fā)射角度和能量進(jìn)行校正,保證相同二次離子的飛行時(shí)間一致,所以 TRIFT 兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測(cè)靈敏度優(yōu)勢(shì),對(duì)于不平整樣品的成像可以減少陰影效應(yīng)。




TOF-SIMS自動(dòng)多樣品測(cè)試

Queue Editor實(shí)現(xiàn)多樣品自動(dòng)測(cè)試

您可以輕松創(chuàng)建和編輯包括質(zhì)譜分析、成像分析和深度剖析在內(nèi)的所有測(cè)試方案。測(cè)試方案中除了測(cè)試條件外,還包括測(cè)試位置的信息。在創(chuàng)建測(cè)試序列后,程序可根據(jù)測(cè)試方案自動(dòng)進(jìn)行多樣品多點(diǎn)分析。




全自動(dòng)樣品傳送系統(tǒng)

PHI nanoTOF 3 配置了在 XPS 的Q系列上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動(dòng)樣品傳送系統(tǒng):樣品尺寸可達(dá) 100mm × 100mm,而且分析室標(biāo)配內(nèi)置樣品托停放裝置;結(jié)合分析序列編輯器(Queue Editor),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大量樣品的全自動(dòng)連續(xù)測(cè)試。




離子束技術(shù)

采用新開(kāi)發(fā)的脈沖氬離子槍,獲得的自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù)

TOF-SIMS 測(cè)試的大部分樣品為絕緣樣品,而絕緣樣品表面通常有荷電效應(yīng)。PHI nanoTOF 3 采用自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù),通過(guò)同時(shí)發(fā)射低能量電子束和低能量氬離子束,可實(shí)現(xiàn)對(duì)任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動(dòng)荷電中和,無(wú)需額外的人為操作。




標(biāo)配離子槍新增FIB(Focused Ion Beam)功能

在 PHI nanoTOF 3 中,液態(tài)金屬離子槍增加了 FIB 處理新功能,可使用單個(gè)離子槍進(jìn)行橫截面處理和橫截面 TOF-SIMS 分析。
通過(guò)操作計(jì)算機(jī),可快速輕松地完成從 FIB 處理到 TOF-SIMS 分析的全過(guò)程。此外,也具備冷卻條件下 FIB 加工能力。



通過(guò)平行成像MS/MS進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)分析

MS/MS平行成像同時(shí)采集MS1/MS2數(shù)據(jù)()

在 TOF-SIMS 測(cè)試中,MS1 質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片,對(duì)于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子,MS1 譜圖難以區(qū)分。通過(guò)安裝串聯(lián)質(zhì)譜 MS2,對(duì)于特定離子進(jìn)行碰撞誘導(dǎo)解離生產(chǎn)特征離子碎片,MS2 譜圖可以實(shí)現(xiàn)對(duì)分子結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步鑒定。

PHI nanoTOF 3 具備串聯(lián)質(zhì)譜 MS/MS 平行成像功能,可同時(shí)獲取分析區(qū)域的 MS1 和 MS2 數(shù)據(jù),為分子結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)分析提供了強(qiáng)有力的工具。




可靠的遠(yuǎn)程訪問(wèn)功能,即使在遠(yuǎn)離設(shè)備的情況下也能進(jìn)行“測(cè)量”和“診斷”

遠(yuǎn)程訪問(wèn)實(shí)現(xiàn)對(duì)儀器的遠(yuǎn)程控制

PHI nanoTOF 3 允許通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問(wèn)儀器。只需將樣品臺(tái)放入進(jìn)樣室,就可以對(duì)進(jìn)樣、換樣、測(cè)試和分析等所有操作進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。我們的專業(yè)人員可對(duì)儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷。




多樣化的配置

串聯(lián)質(zhì)譜

氬團(tuán)簇離子源

氬/氧氣離子源

銫離子源

碳60離子源

樣品臺(tái)高/低溫模組

真空傳輸管

惰性氣氛手套箱

觀察曲面樣品專用樣品托

通氧模組

聚焦離子束

聚焦離子束軟件

離線數(shù)據(jù)處理軟件

靜態(tài)質(zhì)譜圖庫(kù)

關(guān)鍵詞:絕緣材料 手套箱
15700106413
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