日本英?？?UL300O Fab 可移動式氦氣檢漏儀
始終嶺先一步新一代檢漏儀
長久以來，INFICON泄漏檢測技術(shù)一直是高性能和易用性方面的彪桿。UL3000 Fab有著當(dāng)今市場上極快的泄漏檢測速度，可提供最加用戶體驗。UL3000 Fab專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。
UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。
·較早地起始泄漏檢查，由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底，使它有可能快速進入高靈敏的測量范圍。
·快速抽空，由于對空氣的高抽速。
·低使用成本(TCO)由于無需維護的羅茨粗抽泵。
低的運行和維護成本
維護費用低，使用壽命長:
·堅實耐用的真空系統(tǒng)
·加固的離子源,長達(dá)三年保修期
易于進入應(yīng)用區(qū)域
·小型和堅實的結(jié)構(gòu),穩(wěn)定和良好的移動性
·重心低，易搬運
·大膠輪,易于翻越障碼物
典型的應(yīng)用
■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導(dǎo)體生產(chǎn)中
■各種過程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入，MOCVD,太陽能,FPD 等
■工藝維護后快速確認(rèn)工藝的完整性和應(yīng)修復(fù)的漏孔部位
■在次級生產(chǎn)中的真空管線和泵
■氣柜和復(fù)雜的氣體輸送管線
■生產(chǎn)設(shè)施和治理
附件直接配置在設(shè)備上
■氮氣瓶座在檢漏儀上
■真空軟管架在設(shè)備上
■附件在可鎖的貯物格內(nèi)
*性一覽
·在10-9至10-12毫巴升/秒范圍內(nèi) 快速測量的I·CAL軟件算法。
·采用I·ZERO2.0智能零點功能，可在維持高測量靈敏度的同時實現(xiàn)快速本底抑制達(dá)到醉有效的泄漏檢測。
·適用真空和吸槍泄漏搜索。
·通過快速抽空和響應(yīng)時間將泄漏，檢測的困難程度將至醉低。
·超薄設(shè)計，操作方便，節(jié)省時間。
·低的使用成本(TCO)來自堅實的離子源(3年保修期)和逆流型真空系統(tǒng)。
·易于使用，指導(dǎo)操作的HMI帶有全色彩的高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示器。
日本英?？?UL300O Fab 可移動式氦氣檢漏儀
您的泄漏檢測解決方案專家
INFICON可為高度專業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過程提供全求嶺先的測量和傳感器技術(shù)及過程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車生產(chǎn)等領(lǐng)域，INFICON的氣體泄漏檢測產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。
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