1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳片方式通過導軌絲桿傳動。

3）主軸使用高速直流無刷電機，帶數(shù)字顯示，精確控制轉(zhuǎn)速。

4）自主設(shè)計開發(fā)薄膜式的噴膠泵，出膠穩(wěn)定，自帶回吸，保證了定量滴膠，可節(jié)省光刻膠用量。

5）效率高，雙軸運動方式，上料與下料單獨控制，采用雙加熱盤，降低等待時間。

6）設(shè)置靈活，多功能。通過一鍵設(shè)置，可將自動滴膠轉(zhuǎn)換為手動滴膠。

7）熱板控溫方式為可控硅，自帶超溫保護系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便硅片烘烤。

                 轉(zhuǎn)速                       6000RPM

                 轉(zhuǎn)速精準度                    ≤1-4%RPM

     勻膠     滴膠手臂控制                  步進馬達       

                 滴膠頭位置精準               ≤0.2mm

該設(shè)備為全自動上下料勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設(shè)備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。