半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套的前因：

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體，這些氣體也會(huì)隨著工藝的過(guò)程，由真空泵從反應(yīng)腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會(huì)形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對(duì)工藝設(shè)備尾氣進(jìn)行有效的處理，以減少對(duì)環(huán)境的污染。因此，在半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中，尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過(guò)程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經(jīng)過(guò)在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶，因此尾氣處理過(guò)程中結(jié)晶體會(huì)附著在排氣管的管壁上，極易對(duì)排氣管進(jìn)行堵塞，同時(shí)造成排氣管的損傷。此過(guò)程會(huì)造成尾氣處理不CD，同時(shí)提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門(mén)：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門(mén)，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用：

通過(guò)升高管路工作溫度，減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套