The Fully Automated AFM for Accurate Inline Metrology of Hard Disk Head Sliders that makes doing great work simpler.
Park Systems的PTR系列是針對全自動工業(yè)級線上的原子力顯微鏡解決方案,適用于(不限于)長形條、磁頭萬向節(jié)組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復精度以及高通量,PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測量工具。
Inline Automation, for Fast, Accurate, and Repeatable PTR Measurements
硬盤驅(qū)動滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降,同時還要保證標準的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測量之外,自動化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅(qū)動器滑塊廠商的,兼顧的質(zhì)量和的產(chǎn)量。
High Throughput,with No Need for Multiple Reference Scans
大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量極尖沉降,首先是大區(qū)域參考掃描,隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時間,且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來真正的平面掃描,有效地降低掃描次數(shù)。此外,True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利,在延長使用壽命的同時,提供更持久的高分辨率成像效果。相應地,Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細準確圖像,而無需進行參考掃描,以便修正掃描器偽影。
Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders
隨著硬盤滑塊的尺寸越來越小,復雜性越來越高,提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實現(xiàn)納米級的精確度。
Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動的硬盤滑塊測量。
Automatic PTR Measurement and Analysis
借助NX-PTR系統(tǒng),極尖沉降測量可實現(xiàn)全自動,帶來更高的通量,無論是對于載體、長形條,還是滑塊。
Park Systems的工業(yè)級院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動化極尖沉降(PTR)測量成為可能。
極尖沉降量的監(jiān)測要求測量精度達到0.1 mm,這意味著離測量表面只有20 µm遠。
Automatic Wall Angle Measurement & Analysis
實現(xiàn)各類墻角的自動測量與分析。
Automatic Defect Measurement and Analysis
實現(xiàn)各類缺陷的全自動測量與分析,如表面尖角。
Park NX-PTR features
Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans
NX-PTR擯棄了常見的非線性Z軸電壓信號,而是采用超低噪聲Z軸探測器,從而帶來的形貌高度精度。憑借著行業(yè)的低噪聲Z軸探測器,正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi),甚至可以忽略不計,而這時Z軸形貌信號所無法企及的。
Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift
NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性,從而大大降低熱漂移,實現(xiàn)更為精確的測量。一般情況下,橫向熱漂移率低于100 nm/°C,而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work
NX-PTR配有自動化軟件,操作起來輕而易舉。您只需要選擇想要的測量程序,并設定相應的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點參數(shù),便可取得多位置分析。此外,Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序,以便您發(fā)揮NX-PTR的實力,滿足所有的測量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡單,新測量文件創(chuàng)建只需要10分鐘,而修改現(xiàn)有的測量文件則不超過5分鐘。
Park NX-PTR’s automated system features:
自動、半自動和手動模式,讓您掌控全局
各自動程序的可編輯測量方法
測量過程實時監(jiān)測
自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)