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自動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)
Tosca 系列AFM提供自動(dòng)化的激光對(duì)準(zhǔn)功能:將探針安裝到壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器上并將壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安裝到 AFM 測(cè)量頭后,用戶只需在控制軟件中點(diǎn)擊兩下,儀器便會(huì)自動(dòng)執(zhí)行激光對(duì)齊。
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大限度減少平面外運(yùn)動(dòng)
借助 XY 方向和 Z 方向解耦合的掃描器架構(gòu),XY 方向的掃描器位于樣品之下,而 Z 方向的掃描器位于儀器測(cè)量頭中。這種儀器設(shè)計(jì)可大大降低掃描器之間的串?dāng)_及平面外運(yùn)動(dòng)程度。
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高精度、大范圍掃描
鑒于 X-Y 方向的掃描范圍高達(dá) 100 µm 以及 Z 方向的掃描范圍高達(dá) 15 µm,您可以靈活地對(duì)形貌變化大的大范圍樣品進(jìn)行成像。點(diǎn)擊即可移動(dòng)的 Tosca Control 軟件導(dǎo)航有助于您快速精確地選擇關(guān)注區(qū)域。
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進(jìn)針過(guò)程簡(jiǎn)單
進(jìn)針過(guò)程將樣品表面與針尖接觸。Tosca 系列利用側(cè)視攝像頭追蹤探針的確切位置并使其盡可能地靠近表面移動(dòng)。然后,您便可以啟動(dòng)自動(dòng)進(jìn)針過(guò)程,探針在數(shù)秒內(nèi)便可接觸樣品表面并準(zhǔn)備進(jìn)行掃描。
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快速安全地更換探針
Probemaster 是為探針操作開發(fā)的工具,可節(jié)約時(shí)間并保證快速、安全且準(zhǔn)確地放置探針。這樣可確保您能快速安全地安裝壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與探針以進(jìn)行下一次測(cè)量。
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體驗(yàn)不折不扣的出色精度
解耦合的掃描器架構(gòu)確保低至亞納米級(jí)別的精度,毫無(wú)弓形缺陷。X-Y 方向的閉環(huán)掃描消除了非線性和蠕變問(wèn)題,提供納米級(jí)分析。