JSM-T800具備高分辨觀察和高速元素面分析,能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒式當特基場發(fā)射電子槍。
新一代電子光學控制系統(tǒng)Neo Engine、一體化EDS、易用的操作導(dǎo)航SEM Center、及可置換的物鏡模塊。
產(chǎn)品特點:
·浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍
集成的浸沒式肖特基Plus電子槍和低像差聚光透鏡可實現(xiàn)高亮度。
即使低加諫電床下也能獲得充足的探針電流(100nAa5ky),這可幫助
用戶在對SEM參數(shù)進行微小調(diào)整的情況下,進行高分辨觀察、高速元素面分析,EBSD分析,軟X射線分析
·SEM Center/EDS一體化
操作導(dǎo)航"SEM Center"與本公司生產(chǎn)的EDS進行了全面集成,更易干操作
·高位檢測器UHD (Upper Hybrid Detector)
SHL物鏡里標配高位檢測器,可高效檢測樣本中的電子,從而獲得高S/N的圖像