SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀
白光干涉測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)別。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米級(jí)測(cè)試精度，外接PC或筆記本電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀功能全面，輕松應(yīng)對(duì)各種測(cè)試環(huán)境。電動(dòng)XY雙軸樣品臺(tái)匹配自動(dòng)拼接程序，應(yīng)對(duì)大面積測(cè)試任務(wù)。典型應(yīng)用包括科學(xué)研究、質(zhì)量控制和工藝管理。德國(guó)SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優(yōu)點(diǎn)：
- 通用型
- 精度高
- 測(cè)速快
- 穩(wěn)定可靠
- 自動(dòng)拼接
MountainsMAP表面分析軟件與三維可視化測(cè)量報(bào)告
作為一款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件，MountainsMAP適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測(cè)試或制造設(shè)備使用。 MountainsMAP擁有一整套全面的解決方案，專用于表面外觀及形貌的成像與分析，提供詳盡的三維可視化測(cè)量報(bào)告。
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀技術(shù)參數(shù)
| 測(cè)量系統(tǒng) | |
| 量測(cè)原理 | 白光干涉 |
| Z軸定位系統(tǒng) | 壓電效應(yīng)調(diào)節(jié)系統(tǒng) |
| 高度量測(cè)范圍 | 可達(dá)400 μm |
| 攝像頭參數(shù) | CCD攝像頭；1624x 1234相素 |
| 干涉物鏡系統(tǒng) | |
| 放大倍數(shù)MAG 視場(chǎng)范圍FOV (mm) 橫向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
| 光源 | LED |
| 測(cè)試時(shí)間 | 通常＜20秒 |
| 軟件系統(tǒng) | |
| SmartWLI | 基于微軟Win7操作系統(tǒng)，64位表面形貌測(cè)量軟件；三維數(shù)據(jù)可通過(guò)接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。 |
| MountainsMap | 三維數(shù)據(jù)分析軟件，輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理及后處理、德標(biāo)（DIN）歐標(biāo)（ EN） ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度及高度測(cè)定、串行處理及測(cè)試日志。 |
| 輸出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
部分測(cè)試結(jié)果展示
液態(tài)軸承
晶片
鉆石工具
透鏡工具
金屬表面
汽車車身表面
粗糙度標(biāo)準(zhǔn)片
發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸
