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TOHO 薄膜應力測量儀

參考價	￥ 640000
訂貨量	≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京中科復華科技有限公司
品牌其他品牌
型號日本 Toho
所在地北京市
廠商性質生產(chǎn)廠家
更新時間2024/4/9 9:34:09
訪問次數(shù)524

產(chǎn)品標簽:

薄膜應力測試薄膜應力測量

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務。

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電子束曝光系統(tǒng)，刻蝕設備，鍍膜設備，光刻機

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產(chǎn)地	進口

薄膜應力測量：

在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應力，進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應力。

TOHO 薄膜應力測量儀產(chǎn)品信息

技術參數(shù)：

Toho FLX-2320-S薄膜應力計精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。

主要特點：

◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動選擇適合的匹配之激光源；
◆系統(tǒng)內置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測不同溫度下薄膜的應力，溫度調節(jié)范圍為-65℃至500℃；
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料研究；
◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔；
◆具有薄膜應力3D繪圖功能。

用戶界面：

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動保存測量數(shù)據(jù)等方便性能。

每個用戶可分別設定訪問權限。使用自帶軟件實現(xiàn)簡單卻性能高，簡單測量