應用方向:科研與教學
產(chǎn)品優(yōu)勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發(fā),膜厚監(jiān)控
產(chǎn)品配置:
★樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱:常規(guī)加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統(tǒng):通過復合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng),一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動+半自動控制
類似產(chǎn)品: 大樣片蒸發(fā)鍍膜(MEB-800)