光電流測試探針臺
特點:
滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試
可用于6英寸以內(nèi)樣品測試
可放置于手套箱內(nèi)使用
形狀輕巧,操作方便
臺體規(guī)格:
尺寸:4英寸/6英寸
水平旋轉(zhuǎn):可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程:2英寸*3英寸
X-Y移動精度:10微米
樣品臺Z軸調(diào)節(jié):可升降10mm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺:左右各一個針座平臺,可放置2-6個探針座
背電極測試:樣品臺電學(xué)獨立懸空,4mm插孔可接背電極
光學(xué)系統(tǒng):
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率:16X-200X
移動行程:水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm
光源:外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
定位器:
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm
移動精度:10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
可選附件:
加熱臺;顯示器;轉(zhuǎn)接頭;射頻測試配件;屏蔽箱;光學(xué)平臺
鍍金卡盤;光電測試配件
根據(jù)要求定制,咨詢: