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被測件長度: 150 mm 工作臺行程: 5m 分度值調整范圍: 0.05-0.2 μm 推薦使用分度值: 0.1μm 測量壓力: (1.5±0.1)N 儀器示值穩(wěn)定性: 0.02 μm 儀器誤差: ±(0.03+3ni?λ) μm n是格 ,i是格值 , △λ 是濾光片波長 誤差 儀器體積: 280x500x700 mm 儀器重量: 40 kg 標準配件: 五筋園臺、 九筋瑪瑙臺、可調園平臺、 輔助臺、 平面測帽 小球面測帽、干涉濾光片
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