本公司COL-系列無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。
技術(shù)參數(shù):
1. 百級無塵烤箱型號(hào):COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無塵烤箱潔凈度:100級;
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動(dòng) 度:±0.5℃
7. 電 源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
9. 空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機(jī);
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;
13. 超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
14. 控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?br />15. 排 氣 口:ф50;
16. 隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。
無塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,
:www.done-e.com.
上海旦順實(shí)業(yè)有限公司(Done-e)是一家集生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的烘箱、環(huán)境試驗(yàn)箱、防潮箱產(chǎn)品及提供環(huán)境溫濕度管理專業(yè)解決方案的優(yōu)秀供應(yīng)商。通過自主生產(chǎn)與代理合作相結(jié)合的道路,公司已建立以烘箱、隧道爐、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備等產(chǎn)品為主體的加工基地。并代理日本Superdry防潮箱,加拿大Microsystem環(huán)境儀器設(shè)備。
我公司擁有專業(yè)的技術(shù)人才,*的生產(chǎn)設(shè)備,強(qiáng)大的生產(chǎn)型經(jīng)濟(jì)實(shí)體,有穩(wěn)定的原材料供應(yīng)商和充分的優(yōu)質(zhì)貨源,為公司的長遠(yuǎn)發(fā)展提供了有利的保障。
作為中國*的環(huán)境管理系統(tǒng)提供商。公司專門為半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、博物館提供各種環(huán)境管理解決方案。
為了確保公司產(chǎn)品繼續(xù)保持其競爭優(yōu)勢, Done-e一直致力投資開發(fā)未來一代的*技術(shù)。目前 Done-e 已著手開發(fā)未來 5 至 10 年都可適用的高性能技術(shù)。
Done-e 的產(chǎn)品系列
溫濕度多點(diǎn)組網(wǎng)監(jiān)控系統(tǒng)
溫濕度控管系統(tǒng)
溫濕度記錄儀
精密熱風(fēng)循環(huán)烘箱烤箱
無塵烘箱烤箱
無氧化烘箱烤箱
真空烘箱烤箱
防潮箱