SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過(guò)程中測(cè)量沉積速率和膜厚的精密儀器，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。
在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過(guò)平均值，以達(dá)到更精確的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過(guò)程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來(lái)控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。
數(shù)字輸入可以通過(guò)外部信號(hào)來(lái)對(duì)讀數(shù)進(jìn)行開(kāi)始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測(cè)儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過(guò)電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝。軟件可以用來(lái)設(shè)置和存儲(chǔ)所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel®文檔。同時(shí)，USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中，以zui大程度方便不同用戶。
SQM160產(chǎn)品詳細(xì)介紹
便于使用
開(kāi)啟速率和膜厚測(cè)量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開(kāi)源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測(cè)儀一定距離也仍然清晰可見(jiàn)。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，同時(shí)前面板報(bào)警器開(kāi)始亮燈。在鍍膜過(guò)程中，操作員可以在任意時(shí)間通過(guò)Xtal Life鍵來(lái)查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測(cè)儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。
高精度，低成本
標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了的性價(jià)比。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選
■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出
■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s
■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選
產(chǎn)品規(guī)格
QCM傳感器輸入 標(biāo)準(zhǔn)型: 2;路 可選: 4路
頻率范圍 1-10 MHz
頻率分辨率 標(biāo)準(zhǔn)型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
頻率穩(wěn)定性 在 0º to 50ºC，總計(jì)± 2 ppm
可選擇的測(cè)量周期 0.10 to 2 sec （每級(jí)增量0.05 sec）
測(cè)量選擇 1 to 20 readings
存儲(chǔ)膜系 99
模擬輸出 2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚
數(shù)字輸入/輸出 2 路數(shù)字輸入, 4路繼電輸出
數(shù)字接口 標(biāo)準(zhǔn)型: RS-232
可選: USB or 以太網(wǎng)
電源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 標(biāo)識(shí) Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安裝支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x 197mm （3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）
重量 2.7 Kg （6 lbs）
Windows軟件（included） 提供遠(yuǎn)程安裝和操作指導(dǎo)，數(shù)據(jù)錄入功能
訂貨信息
附件
782-900-008 單臺(tái)SQM-160 19"安裝支架
782-900-014 雙臺(tái)SQM-160 19"安裝支架
782-502-062 4傳感器輸入擴(kuò)展卡
（將標(biāo)準(zhǔn)型2路擴(kuò)展到6路）
782-900-042 高分辨率選件
（此項(xiàng)需在工廠中完成安裝）
782-900-040 USB選擇卡
782-900-041 以太網(wǎng)選擇卡
