反滲透+混床超純水設備系統(tǒng)是現(xiàn)代電子工業(yè)，如：半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)制備純水、超純水zui常用、*的系統(tǒng)工藝。
一、現(xiàn)代工業(yè)用純水的分類
工業(yè)純水處理設備主要用于工業(yè)用水的凈化處理，使工業(yè)用水達到或超過國家或行業(yè)標準，保證工業(yè)用水質(zhì)量。操作方式：手動控制或全自動控制。
各種工業(yè)用水，按其使用方式可分為直接用水和間接用水兩大類。直接用水，系要求優(yōu)良的水質(zhì)；間接用水，對產(chǎn)品質(zhì)量一般沒有影響，出于防腐和防垢等的要求不同，而需要采用不同的水質(zhì)。
1、原料用水。原料用水是指直接作為原料或作為原料的一部分而使用的水。在飲料、食品加工工業(yè)中，水質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量影響較大，的水質(zhì)應無色、無味、無濁，鹽類含量適當，氨、氮、亞硝酸鹽、細菌等則要求優(yōu)質(zhì)的純水。
2、產(chǎn)品處理用水。指在生產(chǎn)過程中用作洗滌、漂染、打漿等，故也要求較好的水質(zhì)。其水質(zhì)要求大致與原料用水相同。電子工業(yè)等用水則要求優(yōu)質(zhì)的純水。
3、鍋爐用水。由于水的硬度高會使鍋爐內(nèi)結(jié)垢，致使鍋爐熱效率降低；溶解氧和鹽類會引起鍋爐及管路的腐蝕；因此，鍋爐對水的硬度、含鹽量、堿度、等均有嚴格的指標要求。
4、冷卻用水。冷卻用水的作用是冷卻熱介質(zhì)，所以防止其腐結(jié)垢和微生物危害是冷卻水處理的三大任務。因此，冷卻水的水質(zhì)，對硬度、懸浮物、溶解氣體、油及其它有機物、藻類及微生物等都應嚴格控制。
三、電子工業(yè)用超純水特點
在現(xiàn)代電子工業(yè)高速發(fā)展的今天，工業(yè)生產(chǎn)對用水的要求也非常高。如半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
四、幾種常用的超純水制取工藝
1、采用兩級反滲透制取超純水工藝；
2、采用反滲透+離子交換法制取超純水工藝；
3、采用反滲透+EDI法制取電子工業(yè)超純水工藝 ；
而采用反滲透+混床離子交換系統(tǒng)工藝是現(xiàn)代電子行業(yè)工業(yè)生產(chǎn)用純水、超純水zui常用的生產(chǎn)工藝。
五、電子工業(yè)用超純水系統(tǒng)幾種常用的工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→增壓泵→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→增壓泵→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3、采用反滲透水處理設備+EDI電除離子設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→RO水箱→增壓泵→EDI設備→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
六、電子工業(yè)超純水設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（或EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構(gòu)成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
七、電子工業(yè)用超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；
3、實驗室和中試車間用超純水；
4、汽車、家電表面拋光處理；
5、光電子產(chǎn)品；
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
關鍵詞：反滲透 混床
