典型工藝流程
　　(水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ＊cm，15MΩ＊cm，2MΩ＊cm和0.5MΩ＊cm四級(jí))
· 預(yù)處理－反滲透－ 水箱－增壓泵－混合床－純化水箱－純水泵－精制混床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水點(diǎn)
· 預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－微孔過濾器－用水點(diǎn)
· 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－微孔過濾器－用水點(diǎn)
· 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－微孔過濾器－用水點(diǎn)

應(yīng)用場(chǎng)合
· 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
· 超純材料和超純化學(xué)試劑；
· 實(shí)驗(yàn)室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理；
· 其他高科技精微產(chǎn)品