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四方光電（武漢）儀器有限公司
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紅外氣體傳感器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Gasboard-2061

品       牌四方儀器

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地武漢市

更新時間：2025-02-10 17:23:13瀏覽次數(shù)：120次

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產(chǎn)地 國產(chǎn) 檢測原理 NDIR
檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr)
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器


產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設計，便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm



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