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行業(yè)產(chǎn)品

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射頻等離子體去膠機(jī) PVA TePla LED外延芯片設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)IoN 40 / M4L

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:周生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-05-30 09:58:27瀏覽次數(shù):1755次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品:5條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:周生 (項(xiàng)目經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PVA TePla 公司的IoN 40 等離子體設(shè)備是為實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)領(lǐng)域設(shè)計(jì)的全功能的等離子體處理設(shè)備。該設(shè)備外觀簡(jiǎn)潔,系統(tǒng)高度集成化,可應(yīng)用與半導(dǎo)體、生物技術(shù)、電子、醫(yī)療、材料等各個(gè)領(lǐng)域。PVA TePla公司的高品質(zhì)、高性?xún)r(jià)比、操作簡(jiǎn)單的等離子體設(shè)備為各種不同應(yīng)用領(lǐng)域提供了*的創(chuàng)新解決方案,得到用戶(hù)的廣泛信賴(lài)。

詳細(xì)介紹

PVA-TePla 射頻等離子體去膠機(jī)(*)

 

 型號(hào):IoN 40 (M4L 升級(jí)版)


典型應(yīng)用:

去除光刻膠 Photo-resist Stripping

表面精密清潔 Surface Precision Cleaning

表面活化  Surface Modification

提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements

改變表面親水性/疏水性  Hydrophilic/Hydrophobic

分子接枝   Molecular Grafting

涂層  Plasma Deposited Coatings

 

規(guī)格參數(shù):

13.56MHz風(fēng)冷射頻電源(0~600w可調(diào),可選0~300W,0-1000W),

高靈敏快速自動(dòng)匹配功能

陽(yáng)極表面處理鋁制腔體,

水平抽卸極板/垂直極板/側(cè)壁極板/水冷極板,

不銹鋼防腐蝕MFC,

多至6路氣體,

兼容8英寸及以下晶圓

可選配法拉第桶

可選配壓力控制系統(tǒng)

PC工控機(jī)控制,運(yùn)行數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)

觸控屏圖形化界面

外形尺寸:775×723×781 mm

 認(rèn)證:

CE 認(rèn)證

EN 61010

EN 61326

Semi E95

USP Class VI

FDA CFR Title 21 Part 11

CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70

關(guān)鍵詞:工控機(jī)

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