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赫爾納貿(mào)易(大連)有限公司

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LabLine 系列荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)機床
荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)機床
參考價 1000000
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 LabLine 系列
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 大連市

更新時間:2024-12-03 09:23:09瀏覽次數(shù):184

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【簡單介紹】
荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)機床LabLine 系列赫爾納供應(yīng),由赫爾納德國總部直接采購,近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗,原裝產(chǎn)品,支持選型,為您提供一對一好的解決方案:貨期穩(wěn)定,快速報價,價格優(yōu),設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。

荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)機床LabLine 系列赫爾納供應(yīng)

荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)機床LabLine 系列赫爾納供應(yīng),由赫爾納德國總部直接采購,近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗,原裝產(chǎn)品,支持選型,為您提供一對一好的解決方案:貨期穩(wěn)定,快速報價,價格優(yōu),設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。

公司簡介:

SparkNano 是一家高科技產(chǎn)品公司,致力于空間原子層沉積工具 (Spatial ALD) 的設(shè)計和商業(yè)化,重新定義了工業(yè)規(guī)模的納米制造。

SparkNano 的 Spatial ALD 技術(shù)使其客戶能夠沉積薄的功能層,不僅提高性能并降低燃料電池、電池和太陽能電池的制造成本,而且還解決了與有效利用稀缺材料相關(guān)的供應(yīng)鏈挑戰(zhàn)

荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)體制LabLine 系列產(chǎn)品介紹:

SparkNano 的 LabLine 系列提供行業(yè)的空間原子層沉積 (S-ALD) 系統(tǒng),將薄膜質(zhì)量與快的沉積速度的靈活性相結(jié)合。這些的系統(tǒng)旨在支持廣泛的 S-ALD 工藝并適應(yīng)各種基板類型,使其成為研發(fā)、工藝開發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)甚至試產(chǎn)線生產(chǎn)的理想解決方案。

此外,LabLine 系統(tǒng)具有可擴展性,彌合了實驗室研究和全面生產(chǎn)之間的差距,確保順利無縫地過渡到商業(yè)生產(chǎn)。LabLine 系統(tǒng)由幾個關(guān)鍵組件組成,每個組件都旨在為各種 S-ALD 應(yīng)用提供高性能和靈活性。這些組件可以根據(jù)特定的工藝要求進行定制或升級,確保系統(tǒng)適應(yīng)您不斷變化的需求。

荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)體制LabLine 系列優(yōu)勢特點:

高速處理:在不到 10 分鐘的時間內(nèi)在硅晶片上實現(xiàn)高達 50 nm 的 Al?O?沉積,大大縮短了加工時間。

大型基板能力:支持大 420 mm x 300 mm 的基板,可提供定制尺寸,為各種應(yīng)用提供出色的可擴展性和靈活性。

等離子體增強的靈活性:能夠在聚合物等溫度敏感材料上沉積,擴大了可加工的材料范圍。

前驅(qū)體效率和成本降低:大的前驅(qū)體效率,加上回收未反應(yīng)的前驅(qū)體的能力,顯著減少了材料浪費和運營成本。

荷蘭SPARKNANO薄膜沉積研發(fā)體制LabLine 系列主要規(guī)格:

基材類型平面和多孔基板,包括晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔

沉積溫度 S-ALD 50°C – 250°C/等離子體增強 S-ALD 50°C – 200°C

前驅(qū)體和共反應(yīng)物前驅(qū)體:標準設(shè)置,多具有四個前驅(qū)體連接。共反應(yīng)物:H?O(標準)、等離子體(可選 O?、H?、O?)(可根據(jù)要求提供其他前驅(qū)體和共反應(yīng)物。

基板加載手動,通過兩個前廳(一個小,一個大)

免費樣品區(qū) 420 毫米 x 300 毫米

系統(tǒng)尺寸4.0 米(寬)x 3.6 米(深)x 2.1 米(高)

 

 




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