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一、什么是超純水：

    超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于18 MΩcm，或接近18.3 MΩcm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。

二、為什么超純水需要氮氣保護：

    超純水系統(tǒng)中為什么需要用氮封水箱?我們都知道空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸，而氮封水箱是常見，實施簡單，效果好。

    超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于1Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降。

三、超純水的應(yīng)用范圍：

  1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

  2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。

  3、單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。

四、氮封系統(tǒng)簡介：

    LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。供氮閥一般設(shè)定壓力1KPa，泄氮閥設(shè)定壓力2Kpa，呼吸閥設(shè)定壓力+3KPa/-298Pa。

1、供氮閥介紹：

    氮封系統(tǒng)是一套無需外加能源，利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)，使閥后壓力恒定，整機具有動作靈敏、控制壓力波動小、節(jié)約能源。它由供氮閥、泄氮閥和呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。

    LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥是一套自力式微壓力控制系統(tǒng)， 用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定，以避免容器內(nèi)物料與空氣直接觸，防止物料揮發(fā)，被告氧化，以及容器的安全。應(yīng)用各類大型儲罐的氣封保護系統(tǒng)。當罐內(nèi)壓力降低時，供氮閥打開補充罐內(nèi)氮氣壓力；當罐內(nèi)壓力超高時，泄氮閥打開自動泄壓。始終保護罐內(nèi)壓力恒定。

    采用動力源與信號點分開檢測的方法，外加可調(diào)節(jié)流裝置，使整臺閥門的調(diào)節(jié)精度大大提高，減壓比最大可達2000:1。廣泛應(yīng)用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動控制場合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續(xù)供氮壓力波動小、反應(yīng)靈敏等特點。

2、泄氮閥介紹：

    主要用于超純水箱氮封系統(tǒng)泄壓用，當水箱內(nèi)壓力超高時，自動打開泄壓，以保護水箱安全性，與呼吸閥的工作原理一致。

    它主要由執(zhí)行機構(gòu)、下閥蓋、閥體、閥內(nèi)件等部件組成。整體為內(nèi)取壓式，無需像供氮閥另接導壓管進行壓反饋。使用安全更方便。

四、超線水箱氮封系統(tǒng)整體工作原理：

    當儲罐出水閥開啟，放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)氮氣壓力降低，ZZYVP-16B供氮閥開啟，向儲罐注入氮氣，罐內(nèi)氮氣壓力上升，當罐內(nèi)壓力上升至供氮閥壓力設(shè)定值時，供氮閥自動關(guān)閉。

    當儲罐進水閥開啟，進料時，液面上降，氣相部份容積減小，罐內(nèi)壓力升高，當高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，罐內(nèi)氮氣壓力下降，降至泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥自動關(guān)閉。

五、安裝、維護與調(diào)試：

1、安裝：

  （1）檢查整機零件是否缺損與松動，對使用有害人體健康的介質(zhì)，必須進行強度、密封、泄漏與精度測試。

  （2）在安裝前，對管道進行清洗（否則由于焊渣等管道垃圾，損壞閥芯密封面，導致閥門不能正常工作），閥門入口處要有足夠的直管段，并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接，要注意同軸度。

  （3）安裝場地應(yīng)考慮到人員與設(shè)備的安全，即便于操作，又有利于拆裝與維修。

  （4）閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，導壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動的場合，要用支撐架，盡量避免水平安裝。

  （5）介質(zhì)流動方向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表，其中膜片直接承受介質(zhì)壓力，若閥門反裝或管道有反沖壓力，則膜片由于受壓過高導致膜片損壞，閥門不能工作。閥門應(yīng)在環(huán)境溫度-25～+55℃場所使用。

  （6）為使自控系統(tǒng)失靈或檢修閥門時，仍能連續(xù)生產(chǎn)，應(yīng)設(shè)置旁路閥。

 2、維護：

  （1）清洗閥門：對清洗一般介質(zhì)，只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質(zhì)，首先要了解其性質(zhì)，在選用相應(yīng)的清洗辦法。

  （2）閥門的拆卸：將外露表面生銹的零件先除銹，但在除銹前，要保護好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應(yīng)使用專用工具。

（3）閥芯、閥座：二密封面有較小的銹斑與磨損，可用機械加工的方法進行修理，如損壞嚴重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面，都必須進行研磨。

（4）閥桿：表面損壞，必須換新。

（5）壓縮彈簧：如有裂紋等影響強度的缺陷，必須換新。

（6）易損零件：密封墊片與O型圈，每次檢修時，全部換新。膜片必須檢查是否有可能發(fā)生裂紋、老化與腐蝕等痕跡，根據(jù)檢驗結(jié)果，決定是否更換，但膜片使用期一般最多2～3年。

（7）閥門組裝要注意對中，螺栓要在對角線上擰緊，滑動部分要加潤滑油。組裝后應(yīng)按產(chǎn)品出廠測試項目與方法調(diào)試，并在這期間，可更準確地調(diào)整填料壓緊力與閥芯關(guān)閉位置。

3、調(diào)試：

    所需要壓力值是對執(zhí)行器頂部的調(diào)節(jié)螺桿或螺母的操作而得到調(diào)整，打開頂部的防塵蓋，用扳手調(diào)整調(diào)節(jié)螺桿或螺母。順時針方向旋轉(zhuǎn)使設(shè)定壓力增大，逆時針旋轉(zhuǎn)則使設(shè)定壓力減小。安裝在微、差壓調(diào)節(jié)閥后的壓力表，可使工作人員借以觀察調(diào)整后的壓力設(shè)定值。

4、注意事項：

  （1）嚴禁調(diào)壓閥安裝后再進行焊接。

  （2）調(diào)壓閥投入運行前特別注意沖刷、清洗管道，防止焊渣、污物、卡在節(jié)流口，破壞密封面。造成使用前密封面先損壞，調(diào)壓閥失效的現(xiàn)象。

  （3）沖洗管道時應(yīng)使調(diào)壓閥處于全開位置，便于污物、硬渣通過。

六、訂貨時請注明下列內(nèi)容：:

  （1）閥門型號

  （2）通徑×閥座尺寸Kv值

  （3）閥體壓力及連接形式

  （4）閥體和閥內(nèi)組件的材料

  （5）閥特性及閥芯的形式

  （6）上閥蓋形式

  （7）執(zhí)行機構(gòu)形式，是否帶手輪機構(gòu)及供氣壓力

  （8）正/反作用（氣關(guān)式或氣開式）

  （9）附件（帶過濾器減壓閥等）

  （10）特殊要求（禁水處理，禁銅等）

  （11）介質(zhì)名稱

  （12）正常流量及最大流量

  （13）介質(zhì)壓力，閥全開和全閉時閥進口和出口壓力

  （14）介質(zhì)溫度和比重

  （15）介質(zhì)粘度，是否