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nasgiken微量金屬污染物采樣設備SC-3100

SC-3100
●通過與計算機聯(lián)機，可選擇豐富多樣的采樣模式，對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
●因為不太需要外部資源，也不太占地方，易于導入。
●采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-2000相比，可以減少由操作員引起的污染。

SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)、采樣液種類的要求不苛刻，另外，還可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。

SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)，以及采樣液種類的采樣限制，本設備有所突破，另外，也可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行常規(guī)的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染。

nasgiken微量金屬污染物采樣設備SC-3100

設備名稱	SC-3100	SC-8100	SC-9100
操作控制	電腦(※3)
支架具的裝/卸	自動	手動	自動
采樣液的供給	自動	手動	自動
采樣液的回收	自動(※1)	手動	自動
采樣基本模式	圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧
采樣追加模式(※1)	端面、弧形、長方形
晶圓排片(※2)	對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項
吸取式采樣	〇	ー	〇
親水面采樣	ー	〇	〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)	630×550×600	600×550×700	630×550×790
重量	35Kg	40Kg	50Kg
安裝環(huán)境	無塵通風柜內
所需外部資源	電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源	電源(100～240VAC)、 N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源

※1，2: 追加項目需要另外計費，另外，對于親水狀態(tài)的晶圓，不能進行端面采樣，謹請諒解。
※3：配置電腦需要另外計費。

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