儀器名稱

場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡

儀器型號

美國FEI Quanta 400 FEG

儀器簡介

        Quanta FEG場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡綜合場發(fā)射電鏡高分辨和ESEM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢，可對各種各樣的樣品（包括導電樣品、不導電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等）進行高分辨的靜態(tài)和動態(tài)觀察和分析。
        Quanta FEG可同時安裝能譜儀、波譜儀、EBSP、陰極熒光等附件。

技術(shù)參數(shù)

    ?MonoCL3+陰極熒光譜儀，波長范圍160-930nm

    ?電子束感生電流（EBIC）

    ? STEM探測器

    ? Apollo 40 SDD能譜儀

    ? 液氮冷臺，溫度范圍為-185℃- +200℃

    ? 液氦冷臺，溫度范圍為6K-300K

儀器功能

    ? 可在高真空、低真空（130Pa)、環(huán)境真空(4000Pa)下觀察導電和不導電樣品，對材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進     行分析，廣泛應(yīng)用于金屬材料、高分子材料、半導體材料、納米材料等領(lǐng)域；

    ? 配備的Apollo40 SDD能譜無需液氮制冷，可進行快速的點、線、面分布分析，獲得能譜的mapping圖譜；

    ? 其樣品室直徑達284 mm，對于直徑達四英寸硅片可以直接進行測試，無需對樣品進行分割處理；

檢測案例一

（圖片）

檢測案例二

（能譜）

樣品要求

        建議提供文獻圖片或者以前做過的圖片，如果沒有，檢測要求需詳細填寫?？商峁?/span>12張圖片：即篩選出三個比較好的區(qū)域，每個區(qū)域提供3-4張不同放大倍數(shù)滿足測試要求的圖片，對于找不到符合測試要求的區(qū)域的樣品，我們將會多拍一些區(qū)域以證明樣品的真實情況！寄送樣品質(zhì)量大于20mg。