型號：OTF-1200X-4-RTP
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。
| 設(shè)備名稱 | 900℃小型RTP爐--OTF-1200X-4-RTP （2019.9.27--科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 圖片未及時(shí)更新提示 多種配件可選提示 危險(xiǎn)設(shè)備操作提示 |
| 主要特點(diǎn) | ·快速升溫，達(dá)50℃/s；快速降溫，117℃/min。 ·超大管徑φ110mm。 ·溫度可達(dá)900℃。 ·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 ·開門斷電。
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操作視頻 展示視頻 |
| 基本參數(shù) | ·工作溫度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期) ·升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s ·降溫速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一個(gè)大氣壓下) ·法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 ·最慢降溫速率10℃/min ·加熱區(qū)長度：190mm ·控溫精度：+/-1℃(歐陸表型溫控儀表可達(dá)0.1℃) ·加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW，圖1、2、3) ·熱電偶：可插入式的鎧裝熱電偶，進(jìn)口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下 ·功率：9KW(>60A 保險(xiǎn)) ·設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相 ·循環(huán)水流量:0.5 m3/h ·標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min
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| 尺寸 | ·760（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭關(guān)閉） ·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭打開） ·爐膛尺寸：Φ180x190
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| 重量 | 70Kg |
| 認(rèn)證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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| 保修 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩 堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和 酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 國家 | 名稱：一種快速高溫退火爐
編號：ZL-2011-2-0077168.4
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