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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市怡和興機電科技有限公司


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半導體潔凈烘箱

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品       牌

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更新時間:2023-02-05 08:49:08瀏覽次數(shù):292次

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商鋪產(chǎn)品:4條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:蔣經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

一、適用區(qū)域

詳細介紹

產(chǎn)品特點

PRODUCT FEATURES


潔凈烘箱廣泛用于半導體晶圓、液晶、光學模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設(shè)備的熱處理/干燥或老化,也適用于安裝在潔凈室環(huán)境中。100級的潔凈度主要通過使用初效過濾器,HEPA高效過濾器和前后層流循環(huán)系統(tǒng)來實現(xiàn)的,在加熱或冷卻過程中提供穩(wěn)定的性能。快速升溫和恢復時間確保出色的溫度控制和均勻性。具有的機械對流氣流系統(tǒng)。風扇將底部烤箱產(chǎn)生的熱量帶走,防止損壞頂部單元。


潔凈烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度, 0.3µmHEPA高效過濾器,對空氣進行有效循環(huán)過濾??鞠溥€具備流量計和NPT配件,將惰性氣體如氮氣等引入腔室內(nèi)進行特殊工藝烘烤,可以保持低至200PPM含氧水平。


潔凈烘箱外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理;內(nèi)部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調(diào)節(jié)的穿孔不銹鋼托架,支架和機身易于拆卸,便于清洗。

安全功能包括獨立超溫保護,相序保護,斷電保護等多重保護機制,確保使用安全。設(shè)有安全門,烘烤降溫到溫度后才可以打開門,確保操作人員操作安全。


1、SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;

2、箱內(nèi)風道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器。可使用換氣和不換氣模式,可以使箱內(nèi)保證微正壓,以保證污染物不能進入內(nèi)箱;

3、高效過濾器HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室,可以對箱體內(nèi)氣體進行單向過濾和循環(huán)過濾。根據(jù)使用要求,可以滿足潔凈級別ISO Class 5(國標100級),ISO Class 6(國標1000級),ISO Class 7(國標10000級)等各種等級的需求;

4、配置自動充氮氣裝置,與自動開關(guān)風門進行充氮烘烤;

5、全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng),帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動恒溫。可以保存配方,查看溫度曲線,導出升溫數(shù)據(jù)等;

6、根據(jù)使用要求,可以接受定制。

產(chǎn)品參數(shù)

PRODUCT PARAMETERS

型號

YH-J100-ES-02

溫度范圍

常溫—300℃

溫度精度

±1℃

溫度均勻性

±2%(空載)

加熱功率

6KW

容積

350L

工作尺寸(高*寬*深)

910*620*620(mm)

外部尺寸(高*寬*深)

1750*855*1030(mm)

過濾器

HEPA耐高溫高效過濾器(CLASS 100)

含氧量范圍

1%-100PPM(選配)

升溫速率

升溫速率可調(diào),空載常溫升至175℃大約30分鐘


定制服務(wù)

CUSTOM SERVICE

深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍;如果您有特定的要求或規(guī)格,請根據(jù)您的需求與我們聯(lián)系,以便我們確保設(shè)備的設(shè)計、測試和調(diào)整能夠滿足您的要求。

 

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關(guān)鍵詞:高效過濾器
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