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行業(yè)產(chǎn)品

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D07-19B 質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

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更新時(shí)間:2023-08-04 19:05:47瀏覽次數(shù):207次

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產(chǎn)品簡介

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制

詳細(xì)介紹


    質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。 


氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 


標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 
輸入和輸出: 
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA 
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V 
輸出電壓檢測…………0~+5.00V 


    質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。 


氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 
輸入和輸出: 
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA 
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V 
輸出電壓檢測…………0~+5.00V 


    質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。 


氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 
輸入和輸出: 
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA 
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V 
輸出電壓檢測…………0~+5.00V 



滿量程流量范圍(N2

5SCCM~30SLM

控制范圍

2~100%F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

≤10SLM

±1%F.S.

>10SLM

±2%F.S.

線性

≤10SLM

±0.5~1%F.S.

>10SLM

±2%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤4sec

工作溫度范圍

5~45℃

工作壓差

≤10SLM

0.1~0.5MPa

>10SLM

0.1~0.3MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠

接頭選擇

VCR

1/4"或φ4hose、φ6hose

Swagelok

1/8"、1/4"或φ3、φ6mm

電插頭形式

DB15 pin(Male)

抗電磁干擾

CE

重量

0.95Kg







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