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KW-4T/勻膠機

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更新時間：2023-06-18 18:37:34瀏覽次數(shù)：266次

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賽奧特（北京）科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

KW-4T/勻膠機

詳細介紹

KW-4T/勻膠機

商務與技術參數(shù)

序號	品名	型號		數(shù)量	品牌	生產(chǎn)廠家	產(chǎn)地
1	勻膠機	KW-4T		1	中科院	中科院微電子所	中國
2	備注： 1.含1%的發(fā)票 2.含運費 3.質(zhì)保1年

序號	項目名稱		詳細參數(shù)
1	主要應用		廣泛應用于半導體，集成電路，材料，微光學，生命科學，凝聚態(tài)物理，化學等科學研究與生產(chǎn)，可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。
2	主要特點技術規(guī)格		1.轉(zhuǎn)速 300-9000 RPM 2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性 1RPM 3.旋涂均勻性 <1%（片內(nèi)）；<1%（片間） 4.基片尺寸 Φ5-Φ100mm圓片，100mm×100mm方片 5.程序控制全觸摸屏操作，快速啟動，人性化界面，6步工藝調(diào)速設計，0-1800s時間可調(diào)，6.專業(yè)用戶的的需求 7.整機尺寸 280×220×160（mm) 8.工藝支持依托中科院微電子所工藝平臺，提供微納加工工藝支持 9.適應材料適合硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP等各種材料，工藝服務 10.特殊夾具定制 20年特殊夾具設計經(jīng)驗，匹配超薄、異形、脆性易碎樣品 11.電機功率 40W
3	真空泵		型號：KW-550A/T 抽速：>1.5升/秒功率：300W 噪音：55db 電壓：220v/50Hz 真空度：-700mmHg 重量：7.3Kg 外形尺寸（mm):250130225
4	基本配置		主機（電源線、說明書、3種樣品片托） + 真空系統(tǒng)（電源線、8mm氣管2.5米+消音器+說明書）