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LH2000雙頻激光干涉儀

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更新時(shí)間：2023-03-02 13:08:47瀏覽次數(shù)：413次

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北京鐳測科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

專為計(jì)量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀的高精度線性位移、長度檢測標(biāo)定工具

詳細(xì)介紹

滿足計(jì)量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；

以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，

在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率性能的同時(shí)，

將光源和測量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里，

一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；

典型頻差7±0.5 MHz，測速高達(dá)2m/s。

系統(tǒng)組成：
LH2000激光測頭及附件
環(huán)境補(bǔ)償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異，請(qǐng)閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

激光頭尺寸	330mm×110mm×95mm
激光頭重量	3.3kg
激光光束直徑	6mm
激光功率	>0.5mw
真空波長	632.99nm
頻差	可定制典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍	+10℃~+30℃
儲(chǔ)存溫度范圍	+15℃~+45℃
激光穩(wěn)頻精度	±0.02ppm
線性測量范圍	40m
線性測量精度	±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器)
分辨率	1nm
測量速度	2m/s
工作電源	220V/50Hz