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ATM240/L PSL氣溶膠發(fā)生器

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北京艾若泰克科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在許多過(guò)濾器測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)中，建議使用低蒸汽壓的液體（如DEHS、PAO或石蠟油）來(lái)測(cè)試氣溶膠的產(chǎn)生，以獲得足夠長(zhǎng)的液滴壽命。然而，在某些情況下或?qū)τ谝恍┎牧?，此類試?yàn)氣溶膠不適用。這有兩個(gè)原因：使用這些氣溶膠測(cè)試的過(guò)濾器會(huì)逐漸釋放出可導(dǎo)致關(guān)鍵區(qū)域污染的測(cè)試物質(zhì)（特別是在半導(dǎo)體和航空航天行業(yè)）。此外，氣溶膠可導(dǎo)致過(guò)濾材料的結(jié)構(gòu)變化。通過(guò)使用固體氣溶膠，可以消除這些缺點(diǎn)，通常建議使用由單分散聚苯乙烯乳膠顆......

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ATM240/L霧化氣溶膠發(fā)生器用于從PSL懸浮液（聚苯乙烯乳膠粒子）中產(chǎn)生干燥的PSL測(cè)試氣溶膠。

在許多過(guò)濾器測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)中，建議使用低蒸汽壓的液體（如DEHS、PAO或石蠟油）來(lái)測(cè)試氣溶膠的產(chǎn)生，以獲得足夠長(zhǎng)的液滴壽命。然而，在某些情況下或?qū)τ?/span>一些材料，此類試驗(yàn)氣溶膠不適用。這有兩個(gè)原因：使用這些氣溶膠測(cè)試的過(guò)濾器會(huì)逐漸釋放出可導(dǎo)致關(guān)鍵區(qū)域污染的測(cè)試物質(zhì)（特別是在半導(dǎo)體和航空航天行業(yè)）。此外，由于化學(xué)作用，氣溶膠可導(dǎo)致過(guò)濾材料的結(jié)構(gòu)變化（例如，DEHS與PTFE的組合）。通過(guò)使用固體氣溶膠，可以消除這些缺點(diǎn)。為此，通常建議使用由單分散聚苯乙烯乳膠顆粒組成的氣溶膠（ISO 29463-3、ISO 29463-4、EN 1822-4）。

圖1 霧化氣溶膠發(fā)生器ATM 240/L（用于產(chǎn)生高濃度PSL氣溶膠）

二、應(yīng)用

l 用惰性固體氣溶膠測(cè)試PTFE膜

l 測(cè)試航空航天和半導(dǎo)體行業(yè)的特殊過(guò)濾器

l 根據(jù)ISO 29464-4（原EN 1822-4）附錄D對(duì)HEPA過(guò)濾器進(jìn)行泄漏測(cè)試

l 生成由單分散聚苯乙烯乳膠球組成的測(cè)試氣溶膠

三、特性

l 與其他氣溶膠發(fā)生器相比，此發(fā)生器產(chǎn)生具有低擴(kuò)散體積的高濃度PSL試驗(yàn)氣溶膠

l 集成的氣溶膠干燥，限度地減少對(duì)額外技術(shù)設(shè)備的需求

l 單個(gè)測(cè)試啟動(dòng)/停止操作

四、工作原理

ATM 240/L配備了渦流狹縫噴嘴，該噴嘴供應(yīng)氣溶膠物質(zhì)（PSL分散體）和壓縮空氣。從噴嘴狹縫處出來(lái)的液滴氣溶膠中，粗液滴最初由于慣性而分離。更細(xì)的液滴通過(guò)特殊的渦流環(huán)分布在氣溶膠腔室中。壓縮空氣將逐漸干燥的氣溶膠帶走。在離開(kāi)發(fā)生器之前，氣溶膠顆粒會(huì)暴露在干燥空氣中，以確保在發(fā)生器出口處形成干燥穩(wěn)定的氣溶膠。

圖2 ATM240/L霧化發(fā)生器的工作原理

五、詳細(xì)說(shuō)明

PSL分散體/懸浮液的噴霧和干燥不僅會(huì)產(chǎn)生所需的PSL顆粒，還會(huì)產(chǎn)生干燥殘留物，這歸因于PSL分散體/懸浮液的穩(wěn)定劑。由于它們的尺寸?。?/span><100 nm），這些殘留物無(wú)法用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)到，因此與過(guò)濾器測(cè)試無(wú)關(guān)。

圖3 PSL試驗(yàn)氣溶膠（178nm，5wt.-%水分散體）的粒徑分布，包括納米范圍（<100 nm）內(nèi)的

細(xì)顆粒物（干燥殘留物）和光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器相關(guān)范圍內(nèi)的PSL峰值（通過(guò)微分電遷移率分析檢測(cè)）

試驗(yàn)氣溶膠的性質(zhì)主要取決于所用PSL原料分散液和樣品制備。如果樣品中存在團(tuán)聚體（雙團(tuán)聚體、三團(tuán)聚體）并干擾分析，則可在使用前通過(guò)超聲波對(duì)分散體/懸浮液進(jìn)行處理。一旦樣品分散，PSL顆粒在分散/懸浮液中成為個(gè)體顆粒。

六、配件（可選）

l EAN581，用于氣溶膠的靜電中和

l UDS751，用于PSL懸浮液超聲分散

七、技術(shù)參數(shù)

設(shè)定參數(shù)	噴嘴壓力
設(shè)定范圍	750～2500hPa
分辨率	連續(xù)
流量	10～24m3/h
質(zhì)量流量	130 g/h（發(fā)散）
粒子產(chǎn)生速率＜0.1um	5%(w/w),PSL,178nm ≤4×10⁹ #/s
氣溶膠物質(zhì)	PSL分散體
粒徑范圍	0.05～0.75um（取決于氣溶膠物質(zhì)）
容積	100～400mL
氣溶膠出口	φ25.4mm（內(nèi)部）
電源	24V,2A
功耗	＜5W
壓縮空氣	6 bar, 25 m³/h,（除油干燥）
尺寸(w×h×d)	900×400×300 mm
重量	25kg
依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)	VDI 3491-2, DIN EN 1822-4

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