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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州循澤半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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全自動硅片倒角機MGB-130

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2024-07-08 07:19:44瀏覽次數(shù):398次

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產(chǎn)品簡介

MGB-130是硅片磨邊、硅片倒角的專用設(shè)備,根據(jù)高精度的數(shù)字控制方式研制而成,能精確且高效率地加工晶片。

詳細介紹

倒角部分:

 

控制系統(tǒng).jpg

倒角部分安裝了風琴罩的方式,防止倒角加工時水滴飛濺。

控制系統(tǒng):


倒角部分.jpg

采用穩(wěn)定高效控制系統(tǒng)和精密級執(zhí)行機構(gòu)。

 


基本規(guī)格
硅片尺寸φ12″
硅片厚度0.4-1.0mm
硅片類型notch
研磨單元2個
外周研削
砂輪外徑φ202mm
砂輪安裝內(nèi)徑φ30mm
砂輪厚度20mm
主軸轉(zhuǎn)速5000rpm
notch研削
砂輪外徑φ3.8mm
砂輪安裝內(nèi)徑φ3mm
主軸轉(zhuǎn)速140000-160000rpm
設(shè)備功能及參數(shù)
設(shè)備外形尺寸3C/2520(長)*1500(寬)*2300(高)mm
8C/3050(長)*1800(寬)*2300(高)mm
設(shè)備重量5噸
報警燈三色指示燈
操作面板12寸工控一體機
研磨速度外周和 notch 可單獨設(shè)置
研磨臺X軸、Y軸、Z軸驅(qū)動方式伺服電機
定位精度1μm
研磨臺θ軸驅(qū)動方式DD馬達
定位精度0.001°
傳送單元取片方式吸附取片(上表面)
清洗單元清洗方式甩干清洗
干燥方式干燥空氣
上下料單元類型片盒
片盒數(shù)量3個/8個(選配)
測量單元規(guī)格
硅片厚度測量最小單位1μm
測量重復(fù)精度± 2μm
厚度測量方式接觸式或非接觸式(選配)
偏心調(diào)整單元類型激光方式
測量精度10μm
偏心調(diào)整精度±50μm


產(chǎn)品優(yōu)勢:

-通過緊湊的設(shè)計提高空間效率

-高精度研磨

-通過觸控面板輕松操作

-測量磨削結(jié)果并自動校正


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