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當(dāng)前位置:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>HMDS烘箱
HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等...
HMDS真空烘箱處理系統(tǒng):性能更好,由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一...
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開(kāi))延長(zhǎng)了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥...
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤,再進(jìn)行H...
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅...
智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了...
HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物...
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。
HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后...
HMDS鍍膜機(jī)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降...
HMDS涂膠系統(tǒng),HMDS涂膠烤箱通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處...
HMDS鍍膜機(jī)設(shè)備。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作,無(wú)發(fā)塵材料,適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。
HMDS烤箱供應(yīng)將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。
脫模劑蒸鍍機(jī),脫 模劑鍍膜烤箱應(yīng)用于半導(dǎo)體,光電、電子行業(yè)硅片、砂紙或石英硬模板等材料。
HMDS烤箱將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表...
HMDS烘箱真空泵,HMDS系統(tǒng)用油泵在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑...
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