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大型HMDS真空烘箱，4門(mén)HMDS真空烤箱 是半導(dǎo)體光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于基片表面預(yù)處理，通過(guò)六甲基二硅氮烷（HMDS）涂布增強(qiáng)光刻膠與基片的黏附性。

硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備通過(guò)表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過(guò)程中實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)較好的轉(zhuǎn)移,復(fù)制.

抗黏劑蒸鍍機(jī) 抗粘劑涂膠機(jī) 硅烷氣相鍍膜機(jī)通過(guò)精確控制烘箱溫度（100-200℃）、處理時(shí)長(zhǎng)及保持時(shí)間等參數(shù)，使氮烷（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷...

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī)氣相沉積系統(tǒng)硅烷偶聯(lián)劑（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等）作為一類重要的有機(jī)硅化合物，在材料表面改性、復(fù)合...

疏水處理設(shè)備疏水性處理系統(tǒng) HMDS預(yù)處理是一種改善物體表面性質(zhì)的技術(shù)，使其具有疏水性，即不易被液體濕潤(rùn)。

表面疏水性處理設(shè)備陶瓷玻璃疏水處理機(jī)通過(guò)氣相涂布硅烷偶聯(lián)劑HMDS實(shí)現(xiàn)陶瓷表面疏水性能的提高，陶瓷表面接觸角為118?135度，且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能...

納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短，提高生產(chǎn)效率；修飾液用量極少，節(jié)約成本90%；閉環(huán)的工藝過(guò)程，安全系數(shù)高。

可程式HMDS真空 烘箱HMDS真 空烘箱用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積晶圓基底脫水烘烤

HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達(dá)到65或更高。

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑工藝設(shè)備，

掩膜版HMDS真空烘箱hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?，增?qiáng)表面的黏附性（HMDS-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、...

HDMS烘箱HDMS真空烘箱HDMS預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示，HMDS低液位報(bào)&警，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)等

HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理，從而改善光刻膠的附著力。

HMDS烘箱圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) HMDS涂膠機(jī)使用HMDS（六甲基二硅氮烷）對(duì)晶圓表面進(jìn)行快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效的涂布，以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統(tǒng)還支持圖像反...

光刻膠HMDS烘箱HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅，石英，太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO...

HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統(tǒng)無(wú)油泵較小的噪音-一臺(tái)干泵卻擁有較好的真空度，較大的抽速-停機(jī)時(shí)間短，維護(hù)成本更低

HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過(guò)HMDS表面處理...

HMDS烘箱，太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱適用行業(yè)：MEMS、太陽(yáng)能、電池片、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO...

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無(wú)油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的，密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開(kāi)) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油...