石墨舟裝片房

石墨舟裝片房是用于太陽(yáng)能行業(yè)與PECVD承載車(chē)配套、裝取硅片、配制中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求。 

工作原理：

　　空氣通過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。

主要特點(diǎn)：

　　1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位；

　　2、采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠；

　　3、采用GK系列高效空氣過(guò)濾器3只；

　　4、PECVD承載車(chē)在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；

　　5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。

6、保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度100級(jí)。